氪氣

項目

指標

高純氪

純氪

一等品

合格品

氪（Kr）純度（體積分數）/10-2                                   ≥   

99.999

99.995

99.99

氮（N2）含量（體積分數）/10-6                                    ≤

2

8

20

氧+氬（O2+Ar）含量（體積分數）/10-6                        ≤

1.5

5

5

氫（H2）含量（體積分數）/10-6                                    ≤

0.5

1

2

一氧化碳（CO）含量（體積分數）/10-6                       ≤

0.3

0.4

1

二氧化碳（CO2）含量（體積分數）/10-6                      ≤

0.4

0.8

1

甲烷（CH4）含量（體積分數）/10-6                              ≤

0.3

0.8

1

水分（H20）含量（體積分數）/10-6                              ≤

2

3

5

氙（Xe）含量（體積分數）/10-6                                   ≤

2

20

50

氟化物（C2F6）含量（體積分數）/10-6                         ≤

1

10

15

序號

產品

狀態（氣象或液相）

容器（L或m3）

工作壓力（MPa）

容器高度（不包括瓶閥、瓶帽）mm

容器空重（不含瓶閥、瓶帽）kg

充裝量（壓力或重量）MPa或kg

供應模式

品牌

1

氪氣

氣態

4L（Φ140）

15MPa

395

7.1

10-15MPa

采用鋼瓶或鋁合金氣瓶供應

奔逸

2

氪氣

氣態

8L（Φ140）

15MPa

680

11.5

10-15MPa

3

氪氣

氣態

10L（Φ159）

15MPa

671

13.5

10-15MPa

4

氪氣

氣態

15L（Φ159）

15MPa

956

19

10-15MPa

5

氪氣

氣態

20L（Φ219）

15MPa

715

23

10-15MPa

6

氪氣

氣態

40L（Φ219）

15MPa

1315

48

10-15MPa

7

氪氣

氣態

50L（Φ219）

15MPa

1510

66

10-15MPa

8

備注

因容器設計壓力等差異，以上數據略有出入，請知悉。詳情請聯系40009 63336或18563963366。