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液氬
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項目 |
指標 |
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氬氣（Ar）含量（體積分數）/10-2 ≥ |
99.99 |
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氫（H2）含量（體積分數）/10-6 ≤ |
5 |
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氧（O2）純度（體積分數）/10-6 ≤ |
10 |
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氮（N2）含量（體積分數）/10-6 ≤ |
50 |
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甲烷（CH4）含量（體積分數）/10-6 ≤ |
5 |
|
一氧化碳（CO）含量（體積分數）/10-6 ≤ |
5 |
|
二氧化碳（CO2）含量（體積分數）/10-6 ≤ |
10 |
|
水分（H20）含量（體積分數）/10-6 ≤ |
15 |
高純氬技術要求
項目 |
指標 |
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氬氣（Ar）含量（體積分數）/10-2 ≥ |
99.999 |
|
氫（H2）含量（體積分數）/10-6 ≤ |
0.5 |
|
氧（O2）純度（體積分數）/10-6 ≤ |
1.5 |
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氮（N2）含量（體積分數）/10-6 ≤ |
4 |
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甲烷（CH4）含量（體積分數）/10-6 ≤ |
1 |
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水分（H20）含量（體積分數）/10-6 ≤ |
3 |
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注：甲烷（CH4）含量、一氧化碳（CO）含量、二氧化碳（CO2）含量可單獨測量 |
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超純氬技術要求
項目 |
指標 |
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氬氣（Ar）含量（體積分數）/10-2 ≥ |
99.9999 |
99.9992 |
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氫（H2）含量（體積分數）/10-6 ＜ |
0.1 |
1 |
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氮（N2）含量（體積分數）/10-6 ＜ |
0.5 |
5 |
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氧（O2）純度（體積分數）/10-6 ＜ |
0.2 |
0.5 |
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一氧化碳（CO）和二氧化碳（CO2）總含量（體積分數）/10-6 ＜ |
一氧化碳：0.1 |
0.5 |
|
二氧化碳：0.1 |
||
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總烴（以甲烷計）含量（體積分數）/10-6 ＜ |
0.1 |
0.5 |
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水分（H20）含量（體積分數）/10-6 ＜ |
0.2 |
0.5 |
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雜質總含量（體積分數）/10-6 ≤ |
1 |
8 |
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顆粒 |
供需雙方商定 |
供需雙方商定 |